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我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破

加入日期:2018-6-6 10:18:08

  顶尖财经网(www.58188.com)2018-6-6 10:18:08讯:

  06月06日讯

  据科技日报报道,据悉,中国电子科技集团公司第二研究所突破了大直径SiC生长的温场设计,实现可用于150mm直径SiC单晶生长炉高极限真空、低背景漏率生长炉设计制造及小批量生产;还突破了高纯SiC粉料中的杂质控制技术、粒度控制技术、晶型控制技术等关键技术,实现了99.9995%以上纯度的SiC粉料的批量生产。

  

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